更新時間：2025-01-14
ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器21系列，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。
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ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器21系列
應(yīng)用及案例
● 大學(xué)/研究所 ● 環(huán)境監(jiān)測
● 真空行業(yè)及鍍膜 ● 工業(yè)爐窯
● 半 導(dǎo) 體 ● 汽車制造
● 光 伏 ● 燃料電池
● 計(jì)量校準(zhǔn) ● 過程工藝氣體測量
ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器21系列
產(chǎn)品特色
● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數(shù)控制，如體積流量、質(zhì)量流量和壓力
● 標(biāo)配三種控制方式：數(shù)字、模擬和本地面板
● 可選高精度：優(yōu)于0.5%讀數(shù)
● 量程可控比寬，0.01~100%滿量程
● 響應(yīng)時間快，優(yōu)于30 ms
● 內(nèi)置98種氣體
● 可現(xiàn)場編輯混合氣體（最多5種成分），并最多存儲20種混合氣
量程為0.5 SCCM -6000 SLPM，
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標(biāo)升級：
質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）
質(zhì)量流量高精度 ± 0.5% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取最大值）
重復(fù)性 ±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）
質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移 ± 0.01%滿量程/ ℃（從25℃開始）
± 0.01%滿量程/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）
質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01%讀數(shù)/ ℃（從25℃開始）
± 0.1 %讀數(shù)/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）
介質(zhì)要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類 內(nèi)置了98種氣體，請參考?xì)怏w兼容表
一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇
量 程 從0-0.5 SCCM 到 0-6000 SLPM
量程可控比（穩(wěn)態(tài)） 0.01～100%滿量程
最大顯示流量 128 %滿量程
最大可控流量 102.4 %滿量程
顯 示 屏 帶背光燈按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為LCD黑白顯示屏（帶背光），可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ±（0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）精度升級部分見左下角
±（0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）（可選）
累計(jì)流量精度 流量精度之外增加±0.5%讀數(shù)的額外誤差
重 復(fù) 性 ±（0.2% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）
質(zhì)量流量溫度零點(diǎn)和滿量程漂移 0.02%滿量程/ ℃（從25℃開始）
質(zhì)量流量壓力零點(diǎn)和滿量程漂移 ±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）
控制響應(yīng)時間 30ms（與流量相關(guān)，用戶可調(diào)）
顯示響應(yīng)時間 ＜10ms（與流量相關(guān)）
預(yù)熱時間 ＜1s
默認(rèn)標(biāo)況（STP） 25 ℃&1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項(xiàng)）
溫度精度 ± 0.75℃
工作濕度 0 ～ 95 %，無冷凝
最大工作壓力 1 MPa表壓
最di操作壓力 如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓80KPa以上使用；其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定
壓力精度 ±0.5%讀數(shù)（＞1Atm），或±0.07PSIA（＜1Atm）
滿量程壓損 參考詳細(xì)壓損表
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號40Hz@19200波特率；
模擬信號：1000Hz
屏幕刷新頻率 10Hz
數(shù)字輸入/輸出信號 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出 質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號精度 在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差
供電電壓 12-30 VDC （如選4-20 mA輸出，須為15-30 VDC ）
供電電流 250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢）
額外加 40 mA（ 4 - 20 mA）
電氣接口 DB9M，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質(zhì) 302、303、304、316L、430FR不銹鋼、FKM、硅橡膠、環(huán)氧樹脂、聚酰胺、玻璃、硅、銅、金、陶瓷
R閥門430FR不銹鋼替換為410不銹鋼
過程連接 標(biāo)準(zhǔn)為NPT內(nèi)螺紋，詳情參考壓損表
安裝位置 小閥門無要求，R閥門需閥體垂直向上安裝
防護(hù)等級 IP40（IP66可選）
認(rèn) 證 ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）
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