掩膜無線測溫系統(tǒng)

更新時間：2025-01-15

簡要描述：

掩膜無線測溫系統(tǒng)光掩膜又稱光罩，是微電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版，由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形，并通過曝光將圖形轉(zhuǎn)印到產(chǎn)品基板上。在半導(dǎo)體芯片加工制造過程中,光掩膜版表面的溫度均勻性要求非常高，需要嚴(yán)格的溫度測量和控制。掩膜無線測溫系統(tǒng)用于準(zhǔn)確測量光掩膜版的溫度分布。

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掩膜無線測溫系統(tǒng)光掩膜又稱光罩，是微電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版，由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形，并通過曝光將圖形轉(zhuǎn)印到產(chǎn)品基板上。在半導(dǎo)體芯片加工制造過程中,光掩膜版表面的溫度均勻性要求非常高，需要嚴(yán)格的溫度測量和控制。掩膜無線測溫系統(tǒng)用于準(zhǔn)確測量光掩膜版的溫度分布。

掩膜無線測溫系統(tǒng)產(chǎn)品特點主要技術(shù)參數(shù)

1. 體積小、精度高、采樣速度快；

2. 溫度準(zhǔn)確度高達1mK；

3. 采用無線通訊方式，響應(yīng)時間短。

掩膜無線測溫系統(tǒng)

溫度范圍	0℃ ~ 30℃
溫度準(zhǔn)確度	1mK（3σ）
重復(fù)測量準(zhǔn)確度	＜2mK（3σ）
傳感器響應(yīng)時間	≤1s
采集頻率	max.4Hz
連續(xù)工作時間	≥100min
傳感器數(shù)量	14
通訊方式	Wifi
保修期	1年