更新時間：2025-04-08
超聲波流量計檢測器UCUF系列是半導體制程中涂膠顯影，清洗、CMP、藥液供給等設備中，純水、超純水和各種化學藥液的高精度測量的小口徑超聲波流量計，其由UCUF檢測器和SFC轉換器組成
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超聲波流量計檢測器UCUF系列是半導體制程中涂膠顯影，清洗、CMP、藥液供給等設備中，純水、超純水和各種化學藥液的高精度測量的小口徑超聲波流量計，其由UCUF檢測器和SFC轉換器組成。
特點>接液部是PFA材質，沒有可動部件，接液部沒有容易造成液體滯留的部件(如O型圈)，可以滿足高潔凈度的要求。>不需要前后直管段。>高精度(讀值的1%)>量程從10mL/min到80L/min都可以對應。
主要用途>半導體制造行業用的純水、超純水的流量測量，>各種藥液供給裝置的流量測量。>高腐蝕性液體的流量測量，>CMP Slurry的流量測量。>其他中小口徑液體流量測量。
測量原理原理圖如右圖，采用U型管狀檢測器，液體從入口流入，經過90°流入測定管，再經過90°從出口流出，測定管的兩端裝有發送和接受超聲波的壓電傳感器，測量超聲波在液體A→B、B→A間的時間tA、tB。液體靜止時tA=tB，液體流動時，tA由于是順流所以時間短，tB逆流所以時間長，通過tB-tA計算出流速。tA、tB和流量的關系受管路的尺寸、形狀、藥液粘度等因素影響而不同。通過存有大量實驗數據的內置線性轉換器，實現高精度的測量。
圧電素子 A
伝搬時間 tRA
OUT
超聲波流量計檢測器規格參數
>測定對象:液體(不含氣泡，不腐蝕PFA材料)>流體溫度:10~90℃(超過90℃請聯絡)
>環境溫度:0~60℃
>流體壓力:0~0.5MPa
1000~2200m/s>音速范圍:
檢測器
型號
最大流量范圍最小流量范圍0-3L/min0-3L/min0-3L/min0-8L/min
0-0.05L/min
UCUF-04SE
UCUF-04AM
0-0.05L/min
UCUF-04E
0-0.05L/min
UCUF-06EUCUF-10K
0-0.4L/min
0-20L/min0-50L/min
0-1L/min
UCUF-15K
0-3L/min
UCUF-20K
0-80L/min0-4L/min
連接口徑
1/41/43/8
3/812
3/4
1
連接線纜>數量:2根，In和Out各一根。>長度:標準5米(如需其他長度請聯絡)>材質:外皮PVC(如需其他材質請聯絡)
>流體運動粘度:0.8~40mm2/s>過程連接:PFA管(參照下)>保護等級:IP65>放置場所:室內>流量范圍:參照下表
SFC3000
單通道轉換器
多通道轉換器
SFC4000SFC-011SSFC8000
SFC3100
轉換器端，單通道BNC、多通道SMB.>接頭:檢測器端，UCUF-04SE、04E、06E可拆卸。其他系列不可拆卸。
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